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静电是时时刻刻到处存在的,但是在二十世纪40-50年代很少有静电问题,因为那时是晶体三极管和二极管,而所产生静电也不如现在普遍存在。在60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电问题也出现了,到70年代静电问题越来越来严重。80-90年代,随着集成电路的密度越来越大,一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄(微米-纳米),其承受的静电电压越来越低,另一方面,产生和积累静电的材料如塑料,橡胶等大量使用,使得静电越来越普遍存在,仅美国电子工业每年因静电造成的损失达几百亿美圆,因此静电防护已成为电子工业的隐形敌人。是电子工业普遍存在的"硬病毒",在某个时刻内外因条件具备时就要发作。
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静电有很多危害,静电是否也能利用呢?利用静电能给人类造福。大家了解得比较多的是静电复印现在得到广泛使用。静电除尘,现在很多空气净化器就是利用静电能吸除空气中的很小的尘埃,使空气净化。在农业中,利用静电喷雾能大大提高那个效率的使用,既经济又有利环境保护。静电还有很多应用,如静电处理的种子抗病能力强,病害发生减少,而且发芽率高,产量得到提高;静电放电产生的臭氧是强化剂,有很强的杀菌作用;经过静电处理的水,既能杀菌又不易起水垢。
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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在半导体元件上,会造成产品损坏,甚至导致超大规模集成电路的成品率下降。生产车间操作人员都必须穿洁净工作服,无尘鞋,戴无尘口罩,无尘手套等人体无尘设备,来避免由于人体带静电,而导致吸附尘埃、污物等。
所以在加工生产和封装过程中建立起静电防护系统是很有必要的。IC封装生产线对静电的要求更为严格。为了保证生产线的正常运行,对其洁净厂房进行防静电建筑材料的整体装修,对进出洁净厂房的所有人员配备防静电服装等硬件措施外,在部分流水线和操作工位上还需装有离子风机、离子风咀、离子风蛇、离子风棒等静电消除器,这些设备是方案中不可或缺的产品。